Energiedispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (ED-RFA)

Die Röntgenfluoreszenzanalyse setzt die aus einer Pd-Röhre erzeugte Röntgenstrahlung als Primärstrahlung zur Anregung einer zu bestimmenden Probe ein. Zur Erhöhung der Empfindlichkeit und Erreichung besserer Nachweisgrenzen wird die primäre Anregungsstrahlung durch Zwischenschaltung spezifischer Sekundärtargets zwischen Röntgenröhre und Probe polarisiert (ED-P(olarisation)-RFA).
Die von den Atomen der Probe emittierte sekundäre ("Fluoreszenz") Röntgenstrahlung wird in einem Vielkanalanalysator simultan gemessen.

Die Wellenlängen dieser Strahlung sind für die vorhandenen Elemente der Probe charakteristisch. Aus der Intensität dieser Elementsignale kann anhand gespeicherter Korrektur- und Eichprogramme die Konzentration der Elemente berechnet werden.
Die Röntgenfluoreszenzanalytik wird eingesetzt für die Untersuchung von Gesteinen, Erzen, Böden, Sedimenten und organischem Material. Die Bestimmung der Hauptelemente erfolgt in Form von Schmelztabletten; die Spurenelemente werden in Form von Pulverpresslingen analysiert (siehe Periodensystem der Elemente).